ACM리서치(지사장 김영율)는 건식 증착 공정을 위한 퍼니스 장비 '울트라 퍼니스(Ultra Furnace)'를 출시했다고 11일 밝혔다. 

이 제품은 저압 플라즈마 화학기상증착(LPCVD)에서 최대의 성능을 발휘하지만, 산화 공정과 열처리(Annealing) 공정, 원자층증착(ALD) 공정에도 사용 가능하다. 중국과 한국 소재 ACM 연구개발(R&D) 팀이 2년간 협력해 개발했다.

박막 증착 공정은 높은 온도에서 공정 가스들이 서로 반응해 실리콘 웨이퍼 표면에 얇은 산화막 또는 질화막층을 형성하는 공정이다.

울트라 퍼니스 시스템은 배치(Batch)형으로, 300㎜ 웨이퍼 최대 100장을 처리할 수 있다. 내구성을 향상시킨 하드웨어와 검증된 소프트웨어 기술, 독점적인 제어 시스템 및 알고리즘을 결합해 압력, 가스 유량 및 온도를 안정적으로 제어할 수 있다. 기본적으로 LPCVD 공정을 목표로 개발됐지만, 몇 가지 구성 요소와 레이아웃만 변경하면 다른 애플리케이션에도 적용 가능하다. 하드웨어 구성의 약 85%가 그대로 유지되기 때문에 프로그램을 효율적으로 변경할 수 있다.

ACM 리서치는 울트라 퍼니스 장비를 우선 중국 내 고객사에 먼저 납품하고 이후 한국과 대만으로 고객사를 확대해 나갈 계획이다. ACM은 올해 초 중국에 있는 주요 로직 제조업체의 제조 팹에 첫번째 장비를 공급했다. LPCVD 공정에 적용된 이 장비는 생산 라인에 설치돼 인증을 시작했다. 

데이비드 왕(David Wang) ACM리서치 최고경영자(CEO)는 “첨단 기술 노드는 장비 공급 업체들에게 혁신이 필요한 지속적인 과제를 제시하고, 이러한 환경은 ACM에 상당한 기회의 장이 되고 있다"며 “기존에 구축된 습식 공정 장비 포트폴리오에 Ultra Furnace를 추가하고 고객사의 첨단 제품에 필요한 통합 솔루션을 제공, ACM은 새로운 기회를 더욱 넓혀 나가고 있다”고 설명했다. 

김영율 ACM 리서치 코리아 대표는 "울트라 퍼니스 제품은 차별화된 기술 개발을 위한 중국과 한국의 우수한 전문가들이 협업한 결실"이라며 "한국의 ACM 팀은 세계적인 상하이 팀의 역량을 보완하고, 시장 진출 시간을 앞당기며, 국내 고객들에게 뛰어난 기술 지원을 제공하기 위해 설립됐다"고 전했다.